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整合日、德、瑞、美等国际品牌资源，提供高品质的全品类测量工具
MarSurf UD 130 通过两个驱动单元填补了高端解决方案 MarSurf LD 130 / LD 260 和新标准组合测量站 MarSurf VD 140 / 280 之间的空白。
MarSurf UD 130 的技术规格是以高质量的干涉测头系统为基础，测量和定位速度快，可以减少每个工件的测量时间。
产品特点：
• 一步完成粗糙度和轮廓测量
• 高测量和定位速度可大幅减少测量时间
• 创新的测头系统解决方案
• 快速可靠的测杆更换，磁性支架同步检测测杆
| Mar Surf UD 130 技术参数 | ||
| 数据的获得基于标准测针LPD14-10-2/60° | ||
| 水平轴 | ||
| 扫描长度(Lt) | 0.1mm~130 mm | |
| 安全外壳 (含可自动关闭对应进给电机的安全保护传感器) | 前，后 | |
| 定位速度 | 0.1 mm/s~30 mm/s | |
| 测量速度 | 0.1 mm/s~5mm/s;粗糙度测量，推荐0.1 mm/s~0.5 mm/s | |
| X方向取样间距 | 0.25μm~10 μm可调 | |
| 每次测量最大测量点数 | 520000点 | |
| 分辨率 | 2 nm | |
| 测量力 | 1mN~30 mN,软件中可调整 | |
| 测头系统(w) | 测量方向Z+/Z- | |
| 测头测量范围 | 10 mm | |
| 分辨率 | 2 nm | |
| 测量力 | 1mN~30 mN,软件中可调整 | |
| 残余误差Rzo,Rqo | ||
| 测量和评价条件按照DIN EN ISO 3274,Lc=0.25mm,Lc/Ls=100 | ||
| vt=0.1 mm/s时的残余误差 vt=0.5 mm/s时的残余误差 | Rz<40 nm Rz<50 nm | |
| 轮廓 | ||
| 所有的信息参考VDI/VDE 2629文件1-MPE最大允许误差 测量条件参照测臂数据文件 长度L和半径R值以mm为单位 | ||
| 距离测量显示误差EA(MPEEA) | ±(1.0+2*L/150)μm;L为mm | |
| 半径测量显示误差Rk(MPER) | (R≤10 mm)±1.5μm (10 mm | |
| 一般参数 | ||
| 工作环境温度 | +15℃ to+35℃ | |
| 满足技术指标的建议工作温度 | 20℃±2K | |
| 根据VDI/VDE标准推荐测量室等级2627 | 2或更好 | |
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